四探針測(cè)試儀采用四探針雙電測(cè)量方法，適用于企業(yè)、等院校、科研，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在溫、真空及氣氛條件下測(cè)量的種重要的具。本儀器配置各類(lèi)測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償能。采用度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿(mǎn)足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)。

 

　　四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線(xiàn)或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器符合單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線(xiàn)或方形四探針相比，大大提度，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測(cè)以及新材料電學(xué)性能研究等用途。

 

　　應(yīng)用：

　　四探針測(cè)試儀適用于半導(dǎo)體材料廠(chǎng)、半導(dǎo)體器件廠(chǎng)、科研單位、等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

　　四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計(jì)分析。

　　測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析。